ЭКСИМЕРНАЯ КОАКСИАЛЬНАЯ КСЕНОНОВАЯ ЛАМПА
Эксимерные лампы ВУФ-излучения ксенонового наполнения предназначены для использования в генераторах озона, при фототравлении полимеров, фотохимическом окислении и разложении органических веществ, обработке поверхностей, воздуха и воды, и других областях.
Эксимерная ксеноновая лампа излучает континуум с максимумом интенсивности на 172 нм (7,2 эВ), полуширина которого составляет ~ 15 нм. Лампа имеет безэлектродную коаксиальную конструкцию и изготовлена из кварца с границей пропускания от 152 нм. Толщина стенки внешней колбы лампы ~1 мм, что обеспечивает пропускание до 70 % на 170 нм.
Источником излучения является барьерный разряд, возбуждаемый высокочастотным генератором.
|
Спектр пропускания кварца
|
Лампа может изготавливаться из кварца различных марок в зависимости от области применения.
Для установок УФ обеззараживания воды лампы изготавливаются из специального кварцевого материала, стойкого к перепадам давления в жидкой среде и обеспечивающего повышенное пропускание излучения в коротковолновой области.
|
Лампа может поставляться как в виде кварцевой газонаполненной колбы (чертеж лампы), так и в виде модуля с фланцами и высоковольтным электродом (чертеж модуля).
Лампа в виде кварцевой газонаполненной колбы
Лампа в виде модуля
Технические характеристики
|
Диаметр внешней колбы
|
46,5 мм
|
|
Диаметр внутренней колбы
|
25 мм
|
|
Длина
|
от 200 до 450 мм
|
|
Рабочий газ
|
Ксенон
|
|
Давление рабочего газа
|
300 мбар
|
|
Эффективность преобразования потребляемой мощности в ВУФ-излучение
|
До10 %
|
|
Срок службы
|
Не менее 1000 ч
|
|
Характеристики генератора
|
мощность
|
40 Вт на 10 см длины лампы
|
|
частота
|
60 кГц
|
|
рабочее напряжение
|
Не более 10 кВ
|
Шасси ультрафиолетовое эксимерное
Шасси ультрафиолетовое эксимерное (ШУЭ) состоит из двух последовательно подключенных эксимерных ламп, питающихся от одного высоковольтного источника. В изделии предусмотрено принудительное воздушное охлаждение. Используется в составе установок для фотохимического окисления и разложении органических веществ.
ЭКСИМЕРНАЯ ЛАМПА С ТОРЦЕВЫМ ВЫХОДОМ
В эксимерных лампах с торцевым выходом для вывода излучения используется окно из монокристалла MgF2, прозрачного для излучения с длиной волны от 113 нм, что позволяет заполнять такие лампы аргоном (Ar) - максимум излучения надлине волны в 130 нм,криптоном (Kr) - максимум излучения на длине волны 147 нм и ксеноном - максимум излучения на длине волны 172 нм.
Изготовление коаксиальных ламп с наполнением Ar и Kr невозможно из-за отсутствия доступной технологии изготовления цилиндров из MgF2.
Для увеличения площади облучаемой поверхности эксимерные лампы с торцевым выходом собираются в матрицы, совместное излучение нескольких ламп также увеличивает интенсивность излучения, падающего на облучаемую поверхность.(открыть чертеж матрицы)
Благодаря использованию в лампах элементов активного газопоглощения, связывающих молекулярные газы, диффундирующие из материала колбы в процессе работы, лампы имеют высокую надежность и продолжительный срок службы.
Одной из важных особенностей торцевых эксимерных ламп является возможность вывода излучения в вакуумированныйобъём, при этом излучающая часть лампы находится непосредственно в вакуумной камере, а вся система электрического питания вне ее. Также существует возможностьпередавать излучение такой лампы с помощью капилляров на расстояние в несколько десятков миллиметров.
Матрицы с эксимерными лампами с торцевым выходом находят применение при научных исследованиях в областяхмедицины и биологии, экспериментальных работах по модификации поверхностей.
Технические характеристики
|
Диаметр внешний
|
8-18 мм
|
|
|
|
|
Длина
|
от 15-250 мм
|
|
Рабочий газ
|
Аргон, криптон, ксенон
|
|
Давление рабочего газа
|
|
|
Эффективность преобразования потребляемой мощности в ВУФ-излучение
|
До10 %
|
|
Срок службы
|
Не менее 1000 ч
|
|
Характеристики генератора
|
мощность
|
Не более 20 Вт
|
|
частота
|
20 – 60 кГц
|
|
рабочее напряжение
|
Не более 8 кВ
|
Матрица из трех эксимерных ламп диаметром 18
Эксимерная торцевая лампа с вакуумным переходным фланцем KF
Статьи
Барьерные лампы, излучающие в ВУФ-области спектра
